溅射是一种薄膜沉积工艺，用于半导体、光学设备和表面处理等多个行业。
它是通过高能粒子的轰击，将目标材料中的原子喷射到基底上。
这种技术是物理气相沉积（PVD）的一种形式，自 19 世纪初开始使用，多年来取得了长足的进步和创新。
需要了解的 5 个要点
1.工艺细节
在溅射过程中，受控气体（通常为氩气）被引入真空室。
施加电压以产生等离子体，作为阴极的目标材料受到氩离子的轰击。
这种轰击使原子从靶材中喷射出来，沉积到作为阳极的基片上。
生成的薄膜具有极佳的均匀性、密度和附着力，因此适用于各种应用。
2.变化和应用
溅射可分为阴极溅射、二极管溅射、射频或直流溅射、离子束溅射和反应溅射等不同类型。
尽管存在这些差异，但基本工艺是相同的。
溅射技术用途广泛，可用于制造反射涂层、半导体器件和纳米技术产品。
由于它能够作用于极细的材料层，因此还可用于精密蚀刻和分析技术。
3.历史和技术意义
溅射工艺最早发现于 1852 年，1920 年由 Langmuir 发展成为一种薄膜沉积技术。
自 1976 年以来，与溅射有关的美国专利已超过 45,000 项，凸显了溅射在先进材料和设备中的重要性。
溅射技术的持续创新对于推动材料科学的发展和生产现代技术应用所必需的高质量薄膜至关重要。
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