微波等离子体具有多种优势，特别是在微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）和溅射技术等工艺中。
微波等离子体的 7 大优势
1.能效和无电极运行
微波等离子体是一种无电极工艺。
这意味着它不需要电极来产生等离子体。
这就避免了在电极周围形成等离子鞘，而等离子鞘在直流等离子体辅助 CVD 中会消耗能量。
这种无电极特性使该工艺更加节能，并降低了设置的复杂性。
2.稳定性和可重复性
微波功率产生的非等温等离子体具有高度稳定性和可重复性。
这种稳定性使连续沉积过程可以不间断地运行数小时甚至数天。
这对于需要大规模或长时间生产运行的应用来说至关重要。
3.可扩展性和模块化
1-2 千瓦微波电源和应用器的可用性为模块化设备的使用提供了便利。
MPCVD 的增长率与微波功率成正比。
这意味着增加功率就能扩大工艺规模。
这种可扩展性有利于将生产扩大到更大的基底或更高的产量。
4.增强等离子体密度和控制
与标准溅射方法相比，在微波等离子体系统中使用磁控管增强技术可产生更低电压、更大电流的放电。这将产生更高密度的电离物质，从而更快速地溅射目标材料。这些系统中使用的现代电源具有高度的稳定性和可控性。 这使得等离子体和镀膜过程易于调节，并可扩展到非常大的尺寸。
