溅射和电镀都是用于沉积薄膜的物理气相沉积（PVD）技术，但两者在机制和应用上有所不同。溅射是利用等离子体将原子从目标材料中分离出来，然后沉积到基底上。相比之下，离子镀结合了热蒸发和溅射的优点，使用高电流使材料蒸发并沉积到基底上。
溅射：
溅射是一种在涂层（靶材）和基底之间产生等离子体的工艺。该等离子体用于将原子从目标材料中分离出来。然后，脱落的原子沉积到基底上形成薄膜。这种技术对于沉积半导体、光盘、磁盘驱动器和光学设备的薄膜特别有效。溅射薄膜以其出色的均匀性、密度、纯度和附着力而著称。它还可以通过反应溅射生产出精确成分的合金或氧化物和氮化物等化合物。离子镀：
- 离子镀则是一种结合了热蒸发和溅射的混合技术。它使用高电流蒸发金属材料，然后将金属离子导向工具或基底进行镀膜。与简单的热蒸发相比，这种方法可以获得更好的附着力和更致密的涂层。当需要更好的附着力和更致密的涂层时，通常会使用离子镀。比较：
- 机理： 溅射依靠等离子体将原子从靶上击落的物理过程，而离子镀则利用电流使材料蒸发和沉积。
- 应用： 溅射被广泛用于半导体设备、信息显示设备和装饰应用的功能薄膜。离子电镀能够提供更致密、更附着的涂层，适用于对耐用性和性能要求较高的应用。
优点
磁控溅射是溅射的一种变体，具有结构致密、溅射面积大、高能原子附着力强、结构紧凑、无针孔等优点。这些优点使其成为许多高科技应用的首选。
