真空炉的泄漏率因应用和真空室容积的不同而不同。
一般来说,对于大多数真空炉来说,10 微米/小时的泄漏率是可以接受的。
但是,对于超合金或活性金属加工等关键应用,漏率必须小于 5 微米/小时。
真空室、真空门、馈入通道和贯穿件必须密封,以保持所需的真空度。
真空炉的泄漏率是多少?需要考虑的 4 个要点
1.泄漏率测试
进行泄漏率测试是为了确保真空系统的完整性。
该测试通常在干运行周期结束后立即进行,不会将真空炉排入大气。
以手动模式启动抽气系统,将炉子抽至 1 x 10-4 托或更高。
然后将抽气系统与炉腔隔离,30 分钟后记录真空度,60 分钟后再次记录真空度。
然后以每小时微米为单位计算泄漏率,并与管理规范中规定的验收标准进行比较。
2.可接受的泄漏率
对于较新的窑炉,在 70 微米或更低的压力下,泄漏率不应超过每小时 10 微米。
老式窑炉的泄漏率可能为每小时 20 到 25 微米,但这仍然是可以接受的。
这些泄漏率可确保泄漏到窑炉中的杂质量足够低,从而避免对正在处理的材料造成重大不利影响。
如果窑炉的泄漏率超过这些限制,则在泄漏修复之前不得用于生产。
在这种情况下,可能需要用氮气回填炉子,并在重新测试泄漏率之前拧紧所有真空进料口。
3.定期检查泄漏率
必须按照炉子制造商的规定定期进行泄漏率检查,以防止泄漏引起的任何问题。
泄漏率越高,炉内的残余氧气含量就越高,从而对热处理效果产生不利影响。
因此,应适当关注整个真空系统,对所有接头、焊缝、密封件、阀门、泵和容器本身进行检漏至关重要。
4.选择合适的真空炉
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