知识 真空炉的泄漏率是多少?需要考虑的 4 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

真空炉的泄漏率是多少?需要考虑的 4 个要点

真空炉的泄漏率因应用和真空室容积的不同而不同。

一般来说,对于大多数真空炉来说,10 微米/小时的泄漏率是可以接受的。

但是,对于超合金或活性金属加工等关键应用,漏率必须小于 5 微米/小时。

真空室、真空门、馈入通道和贯穿件必须密封,以保持所需的真空度。

真空炉的泄漏率是多少?需要考虑的 4 个要点

真空炉的泄漏率是多少?需要考虑的 4 个要点

1.泄漏率测试

进行泄漏率测试是为了确保真空系统的完整性。

该测试通常在干运行周期结束后立即进行,不会将真空炉排入大气。

以手动模式启动抽气系统,将炉子抽至 1 x 10-4 托或更高。

然后将抽气系统与炉腔隔离,30 分钟后记录真空度,60 分钟后再次记录真空度。

然后以每小时微米为单位计算泄漏率,并与管理规范中规定的验收标准进行比较。

2.可接受的泄漏率

对于较新的窑炉,在 70 微米或更低的压力下,泄漏率不应超过每小时 10 微米。

老式窑炉的泄漏率可能为每小时 20 到 25 微米,但这仍然是可以接受的。

这些泄漏率可确保泄漏到窑炉中的杂质量足够低,从而避免对正在处理的材料造成重大不利影响。

如果窑炉的泄漏率超过这些限制,则在泄漏修复之前不得用于生产。

在这种情况下,可能需要用氮气回填炉子,并在重新测试泄漏率之前拧紧所有真空进料口。

3.定期检查泄漏率

必须按照炉子制造商的规定定期进行泄漏率检查,以防止泄漏引起的任何问题。

泄漏率越高,炉内的残余氧气含量就越高,从而对热处理效果产生不利影响。

因此,应适当关注整个真空系统,对所有接头、焊缝、密封件、阀门、泵和容器本身进行检漏至关重要。

4.选择合适的真空炉

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定期检查泄漏率至关重要,而我们的窑炉可保持密封,防止对热处理工艺产生任何负面影响。

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