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物理气相沉积（PVD）是一种用于沉积薄膜的技术，通过物理方法将固体材料转化为气相状态，将气相输送到低压区域，并在基底上冷凝形成薄膜。这一过程通常在真空条件下进行，涉及多个步骤，包括源材料的气化、蒸汽的传输和在基底上的冷凝。PVD 能够生产坚硬、耐腐蚀、耐高温且与基底附着力强的涂层，因此被广泛应用于各行各业。最常见的 PVD 方法包括溅射和蒸发，与化学气相沉积（CVD）不同的是，PVD 采用物理而非化学过程来沉积材料。PVD 也被认为是环保的，因为它不涉及危险化学品。
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