知识 物理气相沉积(PVD)技术的工作原理是什么?4 个关键步骤解析
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更新于 2个月前

物理气相沉积(PVD)技术的工作原理是什么?4 个关键步骤解析

物理气相沉积(PVD)是一种通过将材料从凝结相转变为气相来制造薄膜和涂层的技术。

PVD 是一种在原子水平上运行的气化涂层技术。

它通常在真空环境中用于生产这些薄膜和涂层。

在 PVD 中,固体或液体源材料在真空室中气化。

这种气化可通过各种方法实现,如溅射、热蒸发、电子束蒸发、激光烧蚀等。

气化后的材料以原子或分子的形式凝结在基底表面。

这样就形成了只有几个原子厚度的薄 PVD 涂层。

该过程在真空环境中进行,原因有几个。

首先,真空降低了腔室内的原子密度,延长了原子的平均自由路径。

这使得原子在到达基底时不会与腔室内的残余气体分子发生碰撞。

此外,低压蒸汽环境也是商用物理沉积系统正常运行的必要条件。

PVD 过程包括四个主要步骤:蒸发、传输、反应和沉积。

在蒸发过程中,源材料被汽化并转化为气相。

气化后的材料在真空室中传输到基底。

到达基底后,汽化材料会发生反应,以原子或分子的形式凝结在表面材料上。

最后,冷凝材料沉积到基底上,形成薄膜或涂层。

总之,PVD 是一种多功能技术,可用于制造具有所需特性的薄膜。

它广泛应用于各行各业,包括电子、光学和汽车。

应用领域包括耐腐蚀、耐磨、光学涂层和装饰涂层。

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物理气相沉积(PVD)技术的工作原理是什么?4 个关键步骤解析

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