就热蒸发而言，气相材料是指在高真空室中加热到沸点并蒸发的材料。
这种材料形成蒸汽云，并构成蒸汽流，蒸汽流穿过真空室，以薄膜的形式沉积在基底上。
5 个要点说明
1.热蒸发过程
在此过程中，固体材料在高真空室中加热，直至达到沸点并开始蒸发。
蒸发会产生蒸汽压，即使在真空室的低压环境中也足以形成蒸汽云。
2.蒸汽压及其意义
蒸气压在这里至关重要，因为它决定了蒸发速度等于冷凝速度的点，从而导致平衡状态。
了解材料的蒸气压有助于选择适当的蒸发条件，确保材料在蒸发过程中不会出现净损失。
3.材料类型及其蒸发
用于蒸发的材料有多种类型，包括金属、陶瓷、聚合物和碳基化合物。
这些材料通常呈线状、片状或块状固体。加热时，它们会沸腾或升华，产生蒸汽，然后凝结在基底上形成薄膜。
4.真空和温度对蒸气压的影响
真空度和温度对材料的蒸汽压有很大影响。
例如，铬的蒸气压随真空度和温度的变化而变化很大，这会给某些材料的加工带来挑战。
5.应用和材料选择
蒸发材料的选择取决于薄膜的预期应用。
不同的应用需要不同的材料特性，如导电性、光学特性或机械强度。
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