热气相沉积又称热蒸发，是物理气相沉积（PVD）的一种工艺。
它是在高真空室中加热固体材料，直至其汽化。
然后蒸气凝结在基底上形成薄膜。
这种方法因其简单高效而广受欢迎，尤其适用于沉积熔点相对较低的金属。
4 个关键步骤说明
1.真空室设置
工艺开始于不锈钢真空室。
真空室包含一个由钨或钼等难熔材料制成的坩埚或坩埚舟。
要沉积的材料（蒸发剂）被放置在坩埚内。
2.加热材料
使用电阻热源加热材料。
这种加热一直持续到材料达到蒸汽压为止。
此时，足以在真空环境中产生蒸汽云。
3.蒸汽沉积
蒸发后的材料以蒸汽流的形式穿过真空室。
然后沉积到基底上。
基底通常倒置在腔室的顶部。
基底表面朝下，朝向加热源材料，以接受涂层。
4.详细说明
真空环境
使用高真空室至关重要。
它可以最大限度地减少空气分子的存在，否则空气分子可能会与蒸发材料发生作用。
这可能会改变其特性或阻碍沉积过程。
加热机制
加热通常通过电阻加热实现。
电流通过与材料直接接触的线圈或灯丝。
这种方法对熔点相对较低的材料很有效。
它可以精确控制温度，确保材料汽化时不会对坩埚或材料本身造成损坏。
蒸汽压力
材料的蒸汽压力是沉积过程中的一个关键因素。
它决定了材料汽化的速度和蒸汽云的均匀性。
要在基底上获得均匀、连续的薄膜，获得合适的蒸汽压力至关重要。
基底定位
基底的定位方式应使其暴露在蒸汽流中的表面积最大化。
这种定位还有助于控制沉积薄膜的厚度和均匀性。
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