真空管炉是一种专门的加热设备,用于在受控或真空环境中进行高温处理。它由一个圆形加热室组成,加热室通常由石英或氧化铝制成,加热室是密封的,可以抽真空或充入特定气体。加热炉配有真空泵和必要的配件,以保持炉内所需的气氛。
设计和配置:
真空管式炉有多种设计,包括卧式、立式、多角度式、实心式、分体式和旋转式,具体取决于具体的应用要求。真空管式炉还可配置单、双或多加热区,以便对真空管的不同部分进行更精确的温度控制。应用:
此类炉广泛应用于材料科学、冶金和电子制造领域,用于化学分析、物理分解、提纯、烧结、升华、脱气和回火等过程。由于它们能够在受控环境中达到 2000°C 的温度,因此特别适用于晶体生长、热处理和薄膜沉积。
维护:
定期维护对真空管炉的最佳性能和使用寿命至关重要。忽视维护会导致温度不准确、结果不一致以及潜在的安全隐患。主要的维护任务包括确保真空管炉能够达到所需的温度,并保持真空密封的完整性。工作原理:
真空管式炉的工作原理是使用石英管或刚玉管作为密封容器。管子上装有不锈钢密封法兰,以确保密封。操作时,将实验材料放入管内,然后密封、抽真空或充入特定气体。管道被加热到实验所需的温度。建议对炉管进行预抽真空,并多次引入所需的气氛,以确保炉管内的高纯度。