管式炉通常使用由各种材料制成的工作管,以满足特定的应用需求。
材料的选择取决于应用要求,包括所需的最高工作温度和耐化学性。
5 种关键选项说明
1.陶瓷材料
选择莫来石和再结晶氧化铝 (RCA) 等陶瓷材料是因为它们具有耐高温性和化学稳定性。
这些陶瓷适用于需要耐高温和耐化学反应的应用场合。
尤其是 RCA,以其出色的抗热震性和高纯度而著称,是半导体制造等敏感工艺的理想选择。
2.石英玻璃
石英管成本低、透明度高,有利于过程的可视化监控。
石英管的使用温度最高可达 1200°C。
不过,它们可能无法像其他材料那样经受多次热-冷循环,这对于需要频繁改变温度的应用来说是一个考虑因素。
3.金属
不锈钢和铬镍铁合金等金属具有良好的导热性和机械强度。
这些金属适用于各种高温应用。
尤其是铬镍铁合金,以其在高温下出色的抗氧化性和抗腐蚀性而著称,这在对这些因素有严格要求的环境中非常有利。
4.铂
在制备钇钡铜氧化物(YBa2Cu3O7)等超导体时,铂金等材料因其在高温下的稳定性和耐化学反应性而被广泛使用。
5.氧化铝
同样,在化学气相传输过程中,管材的选择对于承受特定条件和防止被处理材料受到污染至关重要。
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