热蒸发是通过加热材料直至其汽化,然后将汽化物沉积到基底上形成薄膜的过程。
在热蒸发过程中,哪些参数会影响薄膜的形成?(4 个关键因素)
1.平均自由路径
平均自由路径是指蒸气原子与另一粒子碰撞前的平均移动距离。
在真空中,平均自由路径随着压力的降低而增加。
这使得蒸汽粒子可以更直接地到达基底,而不会发生散射。
直接移动对于薄膜的均匀沉积和高质量薄膜至关重要。
2.蒸汽粒子的散射
在较高的压力下,蒸汽颗粒更有可能与腔室中的残余气体发生碰撞。
这些碰撞会使蒸汽粒子散射,改变其路径,导致不均匀沉积。
散射会导致薄膜厚度不均和质量不佳。
3.清洁的基底表面
较低的基底压力可最大限度地减少残留气体中可能存在的污染物,从而有助于保持基底表面的清洁。
清洁的表面对于良好的附着力和高质量薄膜的形成至关重要。
4.稳定的涂层
保持较低的基础压力可增强涂层工艺的稳定性。
这种稳定性可确保蒸发和沉积条件在整个过程中保持一致。
这将带来可重复的高质量薄膜。
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