电子束沉积是物理气相沉积（PVD）中的一种工艺，使用高能电子束蒸发源材料，然后以薄膜的形式沉积到基底上。
该过程在真空室中进行，以确保高纯度和对沉积的精确控制。
4 个关键步骤说明
1.生成电子束
该工艺首先使用电子枪产生电子束。
电子枪包含一根灯丝，通常由钨制成，加热后通过热释电发射电子。
电子被磁场加速并聚焦成束。
2.材料蒸发
聚焦的电子束射向装有待沉积材料的坩埚。
电子束的能量会加热材料，使其蒸发或升华，具体取决于材料的特性。
例如，铝等金属可能首先熔化，然后蒸发，而陶瓷则可能直接从固态升华为气态。
3.沉积到基底上
蒸发的材料形成蒸汽，蒸汽穿过真空室，凝结在坩埚上方的基底上。
基底可以旋转并精确定位，以控制沉积薄膜的均匀性和厚度。
4.增强和控制
使用离子束辅助沉积，可提高薄膜的附着力和密度，从而增强工艺的效果。
对加热、真空度和基底移动等各种参数的计算机控制可确保沉积出具有特定光学特性的保形涂层。
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