石墨烯是一种单原子厚的碳薄膜,是通过一种名为化学气相沉积(CVD)的方法生产出来的。
该工艺包括在金属基底上高温分解碳氢化合物气体。
它可以精确控制石墨烯的厚度和质量。
如何通过 CVD 制造石墨烯?(5 个关键步骤详解)
1.制备金属基底
将通常由铜、铂或铱制成的金属基板放入高温炉中。
2.引入碳氢化合物气体
将甲烷或乙烯等碳氢化合物气体引入反应室。
它在 1000°C 左右的温度下分解成单个碳原子。
3.形成石墨烯
碳原子与金属表面结合,成核并生长成连续的石墨烯薄膜。
金属基底起到催化剂的作用,降低了反应的能量障碍,促进了石墨烯的形成。
4.控制参数
石墨烯的厚度和质量可通过调整气体流速、温度和接触气体的时间等参数来控制。
5.石墨烯的转移
石墨烯形成后,可与金属基底分离,并转移到其他基底上,用于各种应用。
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