说到涂层技术,PVD(物理气相沉积)和 CVD(化学气相沉积)是最流行的两种方法。
根据应用的具体需求,这两种方法都有其独特的优势。
例如,CVD 以其高纯度和均匀的涂层能力而著称。
它还具有很强的通用性,尤其是在不规则表面沉积保形膜时。
另一方面,PVD 可在分子束外延等工艺中实现原子级控制。
由于不存在有毒前体和副产品,它还提供了一种更安全的工艺。
PVD 和 CVD 有哪些优势?5 大优势解析
1.利用 CVD 实现高纯度、均匀的涂层
CVD 工艺通常能产生高纯度和均匀的涂层。
这对于要求材料性能精确一致的应用来说至关重要。
2.CVD 沉积的多功能性
CVD 可在表面不规则的基底或大量紧密排列的基底上沉积保形薄膜。
这是由于 CVD 具有较高的压力和层流特性,可以进行非视线沉积。
3.CVD 的常压操作
CVD 可在大气压力下进行,从而减少了对高真空系统的需求,并有可能降低成本。
4.利用 PVD 进行原子级控制
分子束外延等 PVD 工艺可精确控制化学成分、薄膜厚度和过渡锐度。
这对于高精度应用至关重要。
5.PVD 技术的安全性和环保性
PVD 避免了有毒前体和副产品的使用,与 CVD 相比更加安全和环保。
这也简化了材料处理和存储。
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