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真空炉由几个关键部件组成，包括密封炉壳、电加热装置、真空系统、供电系统和温度控制系统。炉壳通常由碳钢或不锈钢制成，密封以防止空气泄漏。冷却装置（如水冷或风冷）用于防止炉壳在高温下变形。炉子内部安装有各种加热元件，如电阻器、感应线圈、电极和电子枪，具体取决于具体应用。对于金属熔化，还包括坩埚和自动浇注装置或用于材料处理的机械臂。真空系统包括真空泵、真空阀和其他维持真空环境所需的部件。此外，根据工艺要求，真空炉可使用不同的气氛，如真空、氩气、氮气、氢气或其他混合气体。真空炉中的加热元件通常由石墨、钼或钨等材料制成，可在真空条件下承受高温并保持低压。
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