化学气相沉积（CVD）是一种通过使气态反应物发生化学反应或分解而在基底上沉积薄膜和涂层的工艺。这种方法包括三个主要步骤：挥发性化合物的蒸发、蒸气的热分解或化学反应，以及非挥发性反应产物在基底上的沉积。该工艺通常需要高温和特定的压力范围才能有效促进反应。
详细说明：
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挥发性化合物的蒸发：
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第一步，蒸发与待沉积材料相关的挥发性化合物。这种化合物是前驱体，通常是卤化物或氢化物。前驱体的作用是传输沉积材料，并为沉积材料与基底的相互作用做好准备。热分解或化学反应：
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气化后的前驱体进入反应室，通常在真空条件下进行热分解或与反应室中的其他气体、液体或蒸汽发生反应。这一步骤至关重要，因为它会将前驱体分解成原子和分子，以便与基质结合。包括温度和压力在内的反应条件都经过严格控制，以确保发生所需的化学转化。
非挥发性反应产物的沉积：
分解或反应后的物质沉积到基底上，形成薄膜或涂层。这种沉积发生的原因是反应产物不易挥发，会附着在基底表面。薄膜的质量和厚度取决于工艺参数，包括温度、压力和反应物的性质。应用和材料：
CVD 广泛用于沉积各种材料，包括硅化物、金属氧化物、硫化物和砷化物。该工艺的多功能性使其可用于不同的应用，从半导体制造到各种材料的保护涂层。
