磁控溅射是一种物理气相沉积（PVD）技术，通过在真空室中电离目标材料，将薄膜沉积到基底上。
该工艺包括使用磁场产生等离子体，使目标材料电离，从而使其溅射或汽化并沉积到基底上。
答案摘要： 磁控溅射涉及使用磁场来增强溅射过程，从而提高沉积率，并可在绝缘材料上镀膜。
目标材料被等离子体电离，喷出的原子沉积在基底上形成薄膜。
什么是磁控溅射靶材？需要了解的 5 个要点
1.工艺概述
在磁控溅射过程中，目标材料被置于真空室中，并受到来自等离子体的高能离子轰击。
这些离子被加速冲向靶材，导致原子从靶材表面喷射出来。
这些喷出的原子或溅射粒子穿过真空，沉积到基底上，形成薄膜。
2.磁场的作用
磁控溅射的关键创新在于磁场的使用。
磁场由放置在目标材料下方的磁铁产生。
磁场在靠近靶材的区域捕获电子，增强溅射气体的电离，提高等离子体的密度。
电子在靶材附近的这种限制增加了离子向靶材加速的速率，从而提高了溅射速率。
3.优势和应用
磁控溅射的优势在于，与传统溅射方法相比，它可以实现更高的沉积速率。
它还能沉积绝缘材料，而早期的溅射技术由于无法维持等离子体而无法实现这一点。
这种方法被广泛应用于半导体工业、光学和微电子领域，用于沉积各种材料的薄膜。
4.系统组件
典型的磁控溅射系统包括真空室、靶材料、基片支架、磁控管（产生磁场）和电源。
系统可使用直流（DC）、交流（AC）或射频（RF）源电离溅射气体并启动溅射过程。
5.操作步骤
过程开始时，先将腔室抽空至高真空，以尽量减少污染。
然后引入溅射气体并调节压力。
目标材料带负电，吸引等离子体中的带正电离子。
这些离子对靶材的撞击导致溅射，射出的原子沉积到基底上。
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