MPCVD 的频率为 2.45 千兆赫。这是 MPCVD 系统中微波发生器的工作频率。
微波辐射用于在真空室中产生等离子体，为金刚石沉积创造理想的环境。
等离子体中的电子吸收微波辐射的能量，温度可高达 5273 K。
这种方法最常用的微波频率是 2.45 GHz 和 915 MHz。
什么是 MPCVD 频率？(四个要点说明）
1.MPCVD 的工作频率
MPCVD 的频率为 2.45 千兆赫。这是 MPCVD 系统中微波发生器的工作频率。
2.等离子体生成
微波辐射用于在真空室中产生等离子体，为金刚石沉积创造理想的环境。
3.电子温度
等离子体中的电子吸收微波辐射的能量，温度可高达 5273 K。
4.常用微波频率
这种方法最常用的微波频率是 2.45 GHz 和 915 MHz。
5.MPCVD 的优点
与其他金刚石合成方法相比，MPCVD 方法有几个优点。
与 DC-PJ CVD 方法相比，MPCVD 可以平稳、连续地调节微波功率，并稳定地控制反应温度。
这有助于避免因电弧和火焰失效导致晶体种子从基底上脱落的问题。
通过调整反应腔的结构、控制微波功率和压力，可以获得大面积稳定的放电等离子体，这是生产高质量、大尺寸单晶金刚石所必需的。
因此，MPCVD 方法被认为是工业应用中最有前途的金刚石合成方法。
6.MPCVD 的其他应用
除了在金刚石合成方面的优势，MPCVD 方法还可用于其他应用，如石墨烯的制造。
频率为 2.45 GHz 的 MPECVD 室用于薄膜电池生产系统的设计。
腔体内插槽的位置会影响谐振模式，在 2.45 GHz 频率下，中间和底部位置分别产生 TE111 和 TM011 模式。
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