Mpcvd 的频率为 2.45 千兆赫。这是 MPCVD 系统中微波发生器的工作频率。微波辐射用于在真空室中产生等离子体，为金刚石沉积创造理想的环境。等离子体中的电子从微波辐射中吸收能量，温度最高可达 5273 K。这种方法最常用的微波频率为 2.45 GHz 和 915 MHz。
与其他金刚石合成方法相比，MPCVD 方法有几个优点。与 DC-PJ CVD 方法相比，MPCVD 可以平稳、连续地调节微波功率，稳定地控制反应温度。这有助于避免因电弧和火焰失效导致晶体种子从基底上脱落的问题。通过调整反应腔的结构、控制微波功率和压力，可以获得大面积稳定的放电等离子体，这是生产高质量、大尺寸单晶金刚石所必需的。因此，MPCVD 方法被认为是最有工业应用前景的金刚石合成方法。
除了在金刚石合成方面的优势，MPCVD 方法还可用于其他应用领域，如石墨烯的制造。2.45 GHz 频率用于薄膜电池生产系统的 MPECVD 室设计。腔体内插槽的位置会影响谐振模式，在 2.45 GHz 频率下，中间和底部位置分别产生 TE111 和 TM011 模式。
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