直流溅射是一种物理气相沉积（PVD）技术，用于在基底上沉积薄膜。
它使用直流电压在低压气体环境（通常是氩气）中产生等离子体。
在此过程中，氩离子轰击目标材料，使原子从目标材料中喷射出来，然后沉积到基底上，形成薄膜。
直流溅射的机理：（5 个关键步骤说明）
1.创造真空
溅射过程首先要在溅射室内形成真空。
这一步骤至关重要，原因有以下几点：它可确保清洁度，并通过增加颗粒的平均自由路径来加强过程控制。
在真空中，粒子可以在不发生碰撞的情况下移动更长的距离，使溅射原子不受干扰地到达基底，从而使沉积更均匀、更平滑。
2.等离子体形成和离子轰击
建立真空后，在腔体内注入惰性气体，通常是氩气。
在靶材（阴极）和基底（阳极）之间施加直流电压，形成等离子体放电。
在该等离子体中，氩原子被电离成氩离子。
这些离子在电场的作用下加速冲向带负电的靶，从而获得动能。
3.靶材溅射
高能氩离子与靶材碰撞，导致靶材中的原子喷射出来。
这一过程称为溅射，依靠高能离子到靶原子的动量传递。
喷出的靶原子处于蒸气状态，称为溅射原子。
4.沉积到基底上
溅射原子穿过等离子体，沉积到处于不同电位的基底上。
这一沉积过程会在基底表面形成一层薄膜。
薄膜的特性，如厚度和均匀性，可通过调整电压、气体压力以及靶和基底之间的距离等参数来控制。
5.控制和应用
直流溅射因其操作简单、成本效益高而备受青睐，尤其是在沉积导电材料方面。
该工艺易于控制，因此适用于各种应用，包括半导体制造、珠宝和手表的装饰涂层以及玻璃和塑料的功能涂层。
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