磁控溅射是一种在真空室中将薄膜沉积到基底上的技术。它利用磁场来提高等离子体生成的效率。从而实现高速、低损伤和低温溅射。
5 个要点说明
1.增强等离子体生成
在磁控溅射过程中，靶材表面会被施加一个封闭的磁场。该磁场（用 B 表示）迫使电子沿着圆形轨迹运动。这大大增加了电子在等离子体中的停留时间。这种长时间的相互作用增加了电子与氩气原子碰撞的可能性。这将促进气体分子的电离。
2.溅射过程
当施加电场时，电离的气体离子加速并轰击目标材料。这导致其原子被喷射出来。这些射出的原子随后在基底表面凝结，形成薄膜。由于磁场维持了较高的等离子体密度，这一过程非常高效。
3.与其他技术相比的优势
与阴极电弧蒸发相比，磁控溅射的工作温度较低。这有利于保持对温度敏感的基底的完整性。不过，较低的温度会降低分子的电离率。在一种称为等离子体增强磁控溅射的技术中，通过使用更多的等离子体可以缓解这一问题。
4.系统组件
典型的磁控溅射系统包括真空室、靶材料、基片支架、磁控管（产生磁场）和电源。每个组件在维持真空环境、定位靶材和基片以及产生溅射过程所需的电场和磁场方面都起着至关重要的作用。
5.开发和应用
磁控溅射技术的开发是为了克服早期溅射技术的局限性，如低沉积率和低等离子体解离率。磁控溅射因其在不同基底上沉积各种材料的高效性和多功能性而成为涂层行业的主要方法。
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