知识 什么是薄膜厚度?5 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是薄膜厚度?5 大要点解析

薄膜是厚度从几个原子到微米不等的材料层。

由于其独特的性能,这些薄膜层在各行各业中发挥着至关重要的作用。

薄膜的厚度是一项基本特性,对其电气、光学、机械和热特性有重大影响。

准确测量和控制薄膜厚度对于确保半导体电子、光学涂层和制药等行业产品的功能和性能至关重要。

测量薄膜厚度的方法多种多样,包括测针轮廓仪和干涉仪等机械技术,以及椭偏仪和石英晶体微天平 (QCM) 等非机械技术。

5 个要点解析:什么是薄膜厚度?

什么是薄膜厚度?5 大要点解析

1.薄膜厚度的定义和重要性

薄膜是二维材料层,厚度从几纳米到几微米不等。

厚度直接影响薄膜的特性,因此薄膜厚度的测量和控制在各行各业都至关重要。

2.测量薄膜厚度的方法

机械方法

测针轮廓测量法: 使用测针对表面进行跟踪,测量薄膜与基底之间的高度差。

干涉测量法: 利用光波产生的干涉图案测量厚度,需要高反射表面。

非机械方法

椭偏仪: 测量光从薄膜表面反射时的偏振变化。

石英晶体微天平 (QCM): 检测薄膜沉积引起的石英晶体频率变化。

3.薄膜的应用

薄膜广泛应用于半导体器件、光学镀膜和光伏领域。

电子、制药和医药等行业的产品功能都依赖于精确的薄膜厚度。

4.可视化薄膜厚度

薄膜的厚度通常小于一微米,通常与单股蜘蛛丝的几分之一相比。

这种可视化有助于了解薄膜的微小尺度。

5.薄膜厚度测量的挑战

薄膜的微小尺度使得传统的测量方法无法满足需要。

确保薄膜的均匀性是准确测量厚度的关键。

通过了解这些要点,实验室设备采购人员可以更好地理解选择合适的薄膜测量技术的重要性,从而确保各行业产品的质量和性能。

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