知识 PVD 使用什么材料?(三种主要类型说明)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

PVD 使用什么材料?(三种主要类型说明)

物理气相沉积(PVD)是指使用各种材料在基底上形成薄膜。

PVD 使用什么材料?(三种主要类型说明)

PVD 使用什么材料?(三种主要类型说明)

1.金属和合金

金属和合金因其导电性和耐久性而常用于 PVD。

例如铬 (Cr)、金 (Au)、镍 (Ni)、铝 (Al)、铂 (Pt)、钯 (Pd)、钛 (Ti)、钽 (Ta) 和铜 (Cu)。

选择这些材料的依据是应用所需的特定性能,如耐腐蚀性、导电性或机械强度。

2.金属氧化物

金属氧化物具有介电性能,或可阻隔湿气和其他环境因素。

二氧化硅(SiO2)是半导体和光学应用中常用的一种。

3.复合材料和化合物

复合材料和化合物包括氧化铟锡(ITO)和铜镍(CuNi)等材料。

这些材料具有独特的性能,如 ITO 的透明性和导电性,可用于触摸屏和太阳能电池。

氮化钛 (TiN)、氮化锆 (ZrN) 和硅化钨 (WSi) 等化合物也因其硬度和耐磨性而使用 PVD 沉积,通常用于切削工具和装饰涂层。

沉积方法

热蒸发

将材料加热至气化点,然后在基底上凝结。

溅射沉积

用离子轰击目标材料,使其喷射出原子,然后沉积在基底上。

脉冲激光沉积(PLD)

使用激光脉冲使材料气化,然后沉积在基底上。

这些方法可以精确控制沉积薄膜的厚度和成分,厚度从几埃到几千埃不等。

材料和沉积方法的选择取决于应用的具体要求,如最终产品所需的机械、光学、化学或电子特性。

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