有不同的沉积类型吗?
是的,有不同的沉积类型,尤其是在真空沉积技术方面。主要分为物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD)。
物理气相沉积 (PVD):
物理气相沉积是利用电子束或等离子体等高能源或通过简单加热使固体材料气化。气化后的材料凝结在基底上形成薄膜。PVD 技术用途广泛,能够沉积包括金属、合金和陶瓷在内的多种材料。它通常用于涂层、表面处理和半导体制造等应用领域。由于不存在可能干扰沉积的空气分子,该工艺可确保沉积层的均匀性。化学气相沉积(CVD):
化学气相沉积是一种用于在固体表面逐原子或逐分子生成薄层或厚层物质的工艺。沉积层可根据应用改变基底表面的特性。层的厚度从一个原子(纳米)到几毫米不等。CVD 方法包括在各种表面上形成不同材料层的各种技术,如喷涂、旋镀、电镀和真空沉积方法。