要清洁溅射镀膜机，请遵循以下详细步骤：
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工作舱的清洁:
- 玻璃腔清洁:使用热肥皂水彻底清洁玻璃腔室。确保完全晾干。如果有顽固的沉积物，可以使用厨房清洁垫。避免使用溶剂，因为没有必要，而且会对健康和安全造成危害。
- 金属表面清洁:用异丙醇清洁金属表面。避免使用丙酮，因为丙酮有健康和安全风险，而且放气时间较长，会影响真空性能。
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真空维护:
- 防止回吸:真空室处于真空状态时，应始终将粗抽泵与镀膜机隔离。这通常使用手动阀门来实现。例如，Quorum 高真空溅射镀膜机具有 "泵保持 "设施，可在不使用仪器时保持真空，防止泵油污染。
- 系统干燥度和真空度:在开始溅射过程之前，确保系统干燥并达到正确的真空度。这有助于实现良好的溅射率并防止污染。
- 泵维护:定期对旋转泵进行压载并定期维修，以保持最佳性能。
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溅射清洁:
- 物理溅射:在真空中使用物理溅射来清洁固体表面的污染物。这种方法常用于表面科学、真空沉积和离子镀。但要注意潜在的问题，如过热、气体掺入、表面损伤和粗糙化。确保等离子体清洁，防止溅射清洁过程中的再污染。
通过坚持这些清洁和维护实践，溅射镀膜机的性能和使用寿命可以显著提高。
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