清洁溅射镀膜机对于保持其性能和使用寿命至关重要。
下面的详细指南将帮助您完成这一过程。
如何清洁溅射镀膜机？- 保持设备最佳状态的 3 个基本步骤
1.工作腔室的清洁
玻璃腔室清洁:使用热肥皂水彻底清洁玻璃箱。
确保完全晾干。
如果有顽固的沉积物，可以使用厨房清洁垫。
避免使用溶剂，因为没有必要，而且会对健康和安全造成危害。
金属表面清洁:用异丙醇清洁金属表面。
避免使用丙酮，因为丙酮有健康和安全风险，而且放气时间较长，会影响真空性能。
2.真空的维护
防止回吸:真空室处于真空状态时，应始终将粗抽泵与镀膜机隔离。
这通常使用手动阀门来实现。
例如，Quorum 高真空溅射镀膜机具有 "泵保持 "设施，可在不使用仪器时保持真空，防止泵油污染。
系统干燥度和真空度:在开始溅射过程之前，确保系统干燥并达到正确的真空度。
这有助于实现良好的溅射率并防止污染。
泵维护:定期对旋转泵进行压载，并定期维修，以保持最佳性能。
3.溅射清洗
物理溅射:在真空中使用物理溅射来清洁固体表面的污染物。
这种方法常用于表面科学、真空沉积和离子镀。
但要注意潜在的问题，如过热、气体掺入、表面损伤和粗糙化。
确保等离子体清洁，防止溅射清洗过程中的再污染。
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