DLC 涂层,即类金刚石碳涂层,是一种无定形碳涂层,具有与金刚石类似的特性。
这些特性包括高硬度和低摩擦。
DLC 涂层采用射频等离子体辅助化学气相沉积(RF PACVD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等技术。
该工艺涉及碳氢化合物气体在等离子环境中的解离。
随后,碳和氢在基体表面重新结合,形成涂层。
获得卓越的类金刚石碳的 4 个关键步骤
1.制备和气体成分
该工艺首先要选择适当的碳氢化合物气体,通常是甲烷。
然后将这种气体引入等离子室。
气体及其成分的选择至关重要,因为它们会影响 DLC 涂层的结合结构和性能。
2.等离子生成
在射频 PACVD 或 PECVD 设置中,利用射频能量生成等离子体。
等离子体将碳氢化合物气体解离成活性碳和氢。
等离子体环境至关重要,因为它提供了气体分子分解并形成活性物质所需的能量。
3.沉积过程
等离子体中的活性碳和氢发生反应并凝结在基底表面。
这一反应导致 DLC 涂层的形成。
沉积过程的特点是生长速度相对恒定,这意味着涂层的厚度与沉积时间成正比。
4.控制参数
有几个参数对控制 DLC 涂层的质量和性能至关重要。
这些参数包括工艺气体成分、发生器功率、气体压力、工艺温度、沉积时间以及基底材料的类型和条件。
值得注意的是,负自偏压 (Vb) 是射频 PACVD 方法中的一个关键参数,会影响薄膜的成分和形态。
DLC 涂层的特点
DLC 涂层以其高硬度著称,维氏硬度可达 9000 HV。
这使得它们的硬度几乎与金刚石相当。
它们还具有低摩擦性和良好的附着力,因此适合应用于汽车部件、工具,甚至手表等奢侈品。
应用
由于其独特的性能,DLC 涂层被广泛应用于各种领域。
从增强汽车部件的耐磨性到为光学设备提供防反射表面,应用范围十分广泛。
它们还可用于需要坚硬黑色表面的装饰性应用。
总之,DLC 涂层是通过受控等离子体辅助化学气相沉积工艺进行涂敷的。
这涉及到碳氢化合物气体的解离及其在基底上的重新组合,从而形成具有类似金刚石特性的坚硬耐磨涂层。
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