用于扫描电子显微镜(SEM)的碳涂层厚度通常约为 50 纳米。
选择这一厚度是为了提供足够的导电性,防止充电,同时又不会对样品的成像或分析造成重大影响。
需要考虑的 4 个关键因素
1.导电性和防止充电
SEM 中的碳涂层主要用于为非导电样品提供导电性。
这一点至关重要,因为非导电材料会在 SEM 分析过程中积累静电场,导致充电效应,从而扭曲图像并干扰数据采集。
50 nm 厚的碳涂层足以有效导电,从而防止这些充电效应。
2.成像和分析
选择 50 纳米碳涂层对于保持样品图像和数据的完整性也具有重要意义。
较厚的涂层可能会产生伪影或改变样品的表面特征,从而误导 X 射线显微分析或能量色散 X 射线光谱(EDS)等分析。
相反,薄于 50 纳米的涂层可能无法提供足够的导电性,导致电荷耗散不完全。
3.在各种技术中的应用
参考文献提到,碳涂层特别适用于制备 EDS 的非导电试样。
这种技术需要一个导电表面才能正常工作,而 50 纳米碳涂层可以提供这种功能,并且不会带来明显的干扰。
此外,碳涂层还有利于电子反向散射衍射 (EBSD),在 EBSD 中,了解表面和晶粒结构至关重要。
金属涂层可能会改变晶粒结构信息,而碳涂层则可以进行精确分析。
4.与其他涂层的比较
参考文献还讨论了一项比较研究,即在 1 千伏电压下施加碳涂层 2 分钟,在基底上形成约 20-30 纳米的涂层。
这一厚度略低于 SEM 中使用的典型 50 nm 厚度,但也说明了根据分析的具体要求可以应用的厚度范围。
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