物理气相沉积(PVD)是一种将材料从凝结相转化为气相,然后在基底上再转化为凝结膜相的工艺。
这种工艺对于制作可增强各种材料表面特性的薄膜涂层至关重要。
PVD 的基本原理可概括为三个主要步骤:涂层材料的气化、颗粒的迁移以及在基底上的沉积。
PVD 的基本原理是什么?3 个关键步骤解析
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1.涂层材料蒸发
该步骤包括涂层材料的蒸发、分离或溅射。
在蒸发过程中,材料被加热直至变成蒸汽。
在分离过程中,材料被电离并分离成其组成颗粒。
溅射是用高能粒子轰击目标材料,使原子从表面喷射出来。
2.粒子迁移
气化后,原子、分子或离子在镀膜过程中会发生各种反应和碰撞。
这一迁移阶段对于形成均匀致密的薄膜至关重要。
微粒在真空或反应气体环境中移动,并在到达基底之前相互影响。
3.沉积到基底上
气化后的颗粒到达基底,在那里凝结并形成薄膜。
这种沉积在高温下进行,而基底则保持在较低的温度下,以防止损坏。
逐原子沉积机制可确保薄膜与基底的良好粘附性,并允许使用多种材料,包括金属、陶瓷和复合材料。
PVD 技术用途广泛,可用于各种基底,包括金属、塑料、玻璃和陶瓷。
主要的工业工艺包括溅射、阴极电弧和热蒸发,每种工艺都是根据薄膜所需的特性(如紧密度、附着力和颜色)来选择的。
PVD 还非常环保,因为它是在真空条件下进行的,能最大限度地减少对环境的污染。
总之,PVD 是一种精密可靠的技术,可提供优质耐用的涂层,提高产品的美观和技术价值。
它由先进的软件控制,确保精确调节所有工艺参数,并需要定期维护,以达到最佳性能。
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