化学气相沉积（CVD）是一种强大的技术，被广泛应用于各行各业，但它也带来了一些需要谨慎管理的危害。
需要了解的 5 大风险
1.气体泄漏
气体泄漏是 CVD 过程中的一个重大危险。要控制这种情况，确保加载室的良好密封至关重要。如果用户未能实现适当的密封，有毒气体可能会泄漏到通风橱中。应遵循适当的培训和程序，以确保安全密封并防止任何气体泄漏。
2.接触有毒和爆炸性前体
在 CVD 过程中使用有毒、腐蚀性和爆炸性前体构成重大危险。应谨慎处理和储存 Cu(acac)2、B2H6 和 Ni(CO)4 等前体。应建立适当的储存和输送系统，防止意外接触和释放这些危险气体。此外，还应对工人进行安全处理和处置这些化学品的培训，以尽量减少对他们的健康和环境造成的风险。
3.有毒副产品的释放
在 CVD 过程中，可能会产生 HF、H2 或 CO 等气态副产品。这些副产品有剧毒，从真空室释放出来时应妥善处理。应采用足够的通风系统和适当的废物处理方法，以确保安全清除这些有毒气体。
4.高温危害
CVD 的另一个危害是沉积薄膜涂层时的高温。某些基底材料的热稳定性较差，在高温下可能会失效。重要的是要选择能承受 CVD 过程特定温度条件的基底材料，以防止损坏和失效。
5.基底材料的潜在损坏
CVD 所涉及的高温和化学反应可能会损坏基底材料。确保所选基底材料具有热稳定性并能承受工艺条件是防止任何损坏的关键。
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