化学气相沉积 (CVD) 的危害包括气体泄漏、接触有毒和易爆前体、释放有毒副产品以及可能损坏基底材料。
要控制气体泄漏的危险，必须确保装载室的良好密封。如果用户未能实现适当的密封，有毒气体可能会泄漏到通风橱中。应遵循适当的培训和程序，以确保安全密封并防止任何气体泄漏。
在 CVD 过程中使用有毒、腐蚀性和爆炸性前体会造成严重危害。Cu(acac)2、B2H6 和 Ni(CO)4 等前体应谨慎处理和储存。应建立适当的储存和输送系统，防止意外接触和释放这些危险气体。此外，还应对工人进行安全处理和处置这些化学品的培训，以尽量减少对他们的健康和环境造成的风险。
在 CVD 过程中，可能会产生 HF、H2 或 CO 等气态副产品。这些副产品有剧毒，从真空室释放出来时应妥善处理。应采用充足的通风系统和适当的废物处理方法，以确保安全清除这些有毒气体。
CVD 的另一个危害是沉积薄膜涂层时的高温。某些基底材料的热稳定性较差，在高温下可能会失效。重要的是要选择能承受 CVD 过程特定温度条件的基底材料，以防止损坏和失效。
总之，化学气相沉积的危害包括气体泄漏、接触有毒和易爆前体、释放有毒副产品以及基底材料的潜在损坏。这些危害可以通过加载室的适当密封、前体的安全处理和储存、有毒副产品的处理以及选择适当的基底材料来控制。
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