热蒸发源使用的材料主要包括钨、钼和钽。这些材料纯度高、熔点高、蒸气压低，适合用于电阻加热蒸发源。这些蒸发源有多种形式，例如舟形、篮形、丝状和涂层棒，每种形式都是为支持不同类型的蒸发剂和应用而设计的。
钨、钼和钽： 这些材料具有耐火特性，通常用于制造蒸发源。它们可以承受高温而不会明显降解，这对蒸发过程至关重要，在蒸发过程中，源材料会被加热到熔点或熔点以上，从而蒸发并沉积在基底上。
蒸发源的形式：
- 蒸发舟： 这是最常用的蒸发源，有各种尺寸。相同的沉积速率下，较大的舟需要更高的功率，但可以处理更高的最大沉积速率。
- 篮子： 包括适用于支撑坩埚的篮子，用于蒸发过程中可能需要密封的材料。
- 灯丝： 通常用于可在较低温度下蒸发的材料或较小规模的应用。
- 涂层棒： 可用于需要特定表面涂层以增强蒸发过程或防止污染的场合。
应用和设计：
蒸发源的设计对于特定应用（如平板显示器制造中的 OLED/多重涂层）至关重要。蒸发源经过专门设计，可优化蒸发过程，确保材料高效、均匀地沉积。电源和控制：
热蒸发源通常需要低电压、大电流的电源。电力需求通常很高，尤其是船用蒸发源。为了控制蒸发速度和沉积速率，热蒸发系统通常使用石英晶体微天平 (QCM) 和其他软件或硬件配置来管理蒸发速率和薄膜特性。
蒸发材料：
