热蒸发源是各种科学和工业流程的重要组成部分。它们用于在高温下蒸发材料，以便沉积到基底上。这些源中使用的材料都是经过精心挑选的，具有独特的性能。
了解热蒸发源所用材料的 5 个要点
1.主要材料：钨、钼和钽
这些材料是热蒸发源最常用的材料。选择它们是因为它们纯度高、熔点高、蒸汽压低。这使它们成为电阻加热蒸发源的理想材料。
2.耐火材料特性
钨、钼和钽因其耐火特性而闻名。这意味着它们可以承受极高的温度而不会降解。这对蒸发过程至关重要，因为在蒸发过程中，源材料会被加热到熔点或熔点以上。
3.不同形式的蒸发源
热蒸发源有多种形式，以满足不同的需求：
- 船： 这些是常用的，有各种尺寸。较大的船需要较高的功率，但可以处理较高的沉积率。
- 篮子： 适用于支撑坩埚，用于蒸发过程中需要密封的材料。
- 灯丝： 通常用于可在较低温度下蒸发的材料或较小规模的应用。
- 涂层棒： 可用于需要特定表面涂层以增强蒸发过程或防止污染的场合。
4.应用和设计
蒸发源的设计对于特定应用至关重要，例如平板显示器制造中的 OLED 和多重涂层。蒸发源的设计旨在优化蒸发过程，确保材料的高效和均匀沉积。
5.电源和控制
热蒸发源通常需要低电压、大电流的电源。功率需求通常很高，特别是对于船型蒸发源。为了控制蒸发速度和沉积率，热蒸发系统通常使用石英晶体微天平（QCM）和其他软件或硬件配置。
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