PVD 涂层主要包括三种类型:热蒸发、溅射沉积和电弧气相沉积。每种工艺都用于在基底上沉积材料薄膜,具有功能性和装饰性双重优势。
热蒸发:这种工艺包括加热要沉积的材料,直到其变成蒸汽,然后在基底上凝结成薄膜。这种方法特别适用于沉积熔点较低的材料,在电子工业中常用于制造薄膜设备。
溅射沉积:在这种方法中,原子通过高能粒子与目标材料之间的动量传递,从目标材料(待沉积材料)中物理地喷射出来。然后,喷射出的原子在基底上凝结。溅射沉积技术用途广泛,可用于多种材料,包括金属、合金和陶瓷。它以良好的附着力和致密的薄膜形成而著称。
电弧气相沉积:这是一种更先进的 PVD 技术,使用大功率电弧蒸发目标材料。这种技术能产生高度离子化的气流,从而产生出色的附着力和高质量的涂层。电弧气相沉积对氮化钛等硬质材料的沉积尤其有效,氮化钛可用于切削工具和耐磨涂层。
这些 PVD 涂层工艺又可分为功能性涂层和装饰性涂层:
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功能涂层:这些涂层旨在提高工具和部件的性能和使用寿命。例如,氮化钛(TiN)涂层通常用于高速钢(HSS)立铣刀,以提高其硬度和耐磨性,从而改善其切削性能并延长其使用寿命。
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装饰涂层:这些涂层主要用于改善零件的外观美感,同时也具有一定的耐磨性。例如,在不锈钢门把手上沉积一层 Zr 薄膜,可获得类似黄铜的颜色,与真正的黄铜相比,耐久性和抗褪色能力更强。
PVD 涂层以能够紧贴表面形貌而不改变表面粗糙度或隐藏瑕疵而著称。在确保与真空兼容后,PVD 涂层可应用于金属、塑料和玻璃等各种基材。此外,PVD 涂层可以通过特定的去涂层工艺去除,这种工艺可以在不损坏基体的情况下去除涂层。
总之,PVD 涂层具有一系列优点,包括良好的附着力、可变的涂层结构以及与其他涂层结合以增强性能的能力。它们适用于要求高精度、耐用性和美观的应用。
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