热蒸发是一种通用的物理气相沉积技术,用于沉积金属和非金属薄膜。
由于其简单而有效,它被广泛应用于各行各业。
热蒸发的主要用途包括
1.电气触点和薄膜设备
热蒸发通常用于沉积银或铝等单一金属,以制造电触点。
通过沉积金属接触层,热蒸发在制造薄膜设备(如有机发光二极管、太阳能电池和薄膜晶体管)中也至关重要。
此外,它还能沉积用于晶片键合的厚铟层。
2.光学和眼科透镜
该技术广泛用于光学器件和镜片的镀膜。
通过蒸发多层材料来增强镜片的性能,包括抗反射涂层、硬涂层以及红外线或紫外线防护。
大型真空室可同时处理数百个镜片,确保批量中所有产品的薄膜均匀一致。
3.消费品包装
大型镀膜机采用热蒸发技术为包装箔制作卷筒涂层。
通过在塑料薄膜上涂覆铝等材料的薄膜,可以阻隔空气和湿气,从而延长消费品的保鲜期和保质期。
4.一般薄膜沉积
该技术适用于沉积铝、银、镍、铬和镁等多种材料。
该工艺包括在高真空环境中将材料加热至蒸发点,使蒸发的分子到达基底,在基底上形成核并形成薄膜涂层。
热蒸发过程
热蒸发的过程非常简单:在高真空环境中将材料加热到其蒸发点,通常采用焦耳加热或电子束蒸发。
蒸发后的材料进入基底,在那里凝结成薄膜。
这种方法有利于在实验室和工业环境中沉积薄膜,并可重复用于薄膜生长和成核。
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