与蒸发法相比，溅射法在制造金属互连系统方面具有多项优势。
与蒸发法相比，溅射法的两个优势
1.更好的薄膜质量和均匀性
与蒸发法相比，溅射法生产的薄膜具有更高的质量和均匀性。
这是因为溅射是用高能粒子轰击目标材料。
这使得材料在基底上的沉积更加均匀。
所形成的薄膜在整个表面上更加一致。
这种均匀性在金属互连系统中至关重要，因为在这种系统中，一致的电气性能至关重要。
2.更容易控制薄膜厚度和成分
溅射可以更精确地控制沉积薄膜的厚度。
这可以通过调整沉积时间和操作参数来实现。
与蒸发法相比，溅射法对合金成分和其他薄膜特性（如阶梯覆盖率和晶粒结构）的控制更为直接。
这种控制对于创建需要特定材料特性才能有效运作的金属互连系统至关重要。
溅射还能沉积熔点极高的材料。
这些材料很难或不可能蒸发。
这就扩大了可用于互连系统的材料范围。
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