当原子在较高温度下沉积在表面上时，会出现几个复杂的过程。这些过程会极大地影响所形成薄膜的质量和均匀性。
5 个重要启示
1.热分解和表面反应
在较高温度下，待沉积物质的挥发性化合物更容易蒸发。
这些蒸气会热分解成原子和分子，或与基底表面的其他气体发生反应。
这一过程至关重要，因为它会直接影响沉积薄膜的成分和结构。
例如，氨在金属表面的分解过程说明了分子前驱体如何分解成元素原子，而元素原子对薄膜的生长至关重要。
分解速度以及沉积速度受温度和加工压力的影响。
2.原子迁移和成核
在高温条件下，通过表面反应生成的元素原子具有很强的流动性。
它们在基底表面迁移，直到遇到高能位点，如晶体表面的原子空位、晶格边缘或扭结位点。
在非晶体表面，其他类型的表面位点会捕获腺原子。
这种迁移以及最终在特定位点的成核对于形成均匀连续的薄膜至关重要。
较高的温度有利于这种迁移，从而可能导致更有效的成核和更好的薄膜质量。
3.寄生反应和杂质
尽管温度升高有很多好处，但这种条件也会增加材料表面发生寄生反应的可能性。
这些反应会产生杂质，损害生长层的性能。
例如，不需要的化合物的形成或副产品的捕获会导致薄膜缺陷，影响其电气、机械或光学性能。
4.对薄膜结构和性能的影响
通过提高沉积原子的流动性和促进更均匀的成核，基底温度的升高可显著改善薄膜的结构和性能。
然而，这必须与基底的材料限制相平衡，因为基底可能无法承受很高的温度而不发生降解。
因此，沉积过程中温度的选择是一个关键参数，需要根据特定材料和所需的薄膜特性进行优化。
5.平衡效率与质量
总之，在表面沉积原子的过程中，较高的温度可提高原子移动性和成核效率，从而提高薄膜形成的效率和质量。
但同时也会带来寄生反应和潜在基底损坏的风险。
这一过程需要仔细优化，以平衡这些相互竞争的因素。
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