知识 什么是金属蒸发?5 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是金属蒸发?5 大要点解析

金属蒸发是一种薄膜沉积工艺。

它涉及将源材料加热到高温。

这将导致材料熔化,然后蒸发或升华为蒸汽。

蒸气随后在真空室中凝结并固化在表面上。

这就形成了一层薄薄的材料层。

该过程通常在高真空环境中进行。

这样可以最大限度地减少气体碰撞和不必要的反应。

它可确保沉积过程干净、均匀。

什么是金属蒸发?5 个要点说明

什么是金属蒸发?5 大要点解析

1.加热和蒸发

使用灯丝蒸发或电子束蒸发等方法对源材料(可以是金属或合金)进行加热。

在灯丝蒸发法中,通过灯丝或线圈中的电流加热材料。

电子束蒸发是一种更先进的方法,它使用聚焦的高能电子束直接加热材料。

这种方法可以蒸发高温材料。

它能提供更局部的加热,这对控制沉积过程至关重要。

2.真空沉积

蒸发是在真空室中进行的。

这可以防止气化原子与气体分子碰撞。

这可能会改变它们的路径并降低沉积的均匀性。

真空还有助于减少热传递。

它还能防止不必要的化学反应,以免降低沉积薄膜的质量。

3.薄膜的形成

气化的原子穿过真空,沉积在腔室内的表面上。

通常是比蒸发源温度低的基底。

这种凝结会形成一层均匀的材料薄膜。

薄膜的厚度和均匀性可以通过调节蒸发速度和过程持续时间来控制。

4.合金的挑战

由于组成材料的蒸气压不同,蒸发合金是一项挑战。

为克服这一难题,可采用在不同坩埚中同时熔化或闪蒸等方法。

闪蒸是指在高温表面快速蒸发少量材料。

它可确保合金成分在整个沉积过程中保持一致。

5.应用

金属蒸发被广泛应用于各行各业。

包括计算机行业的微细加工和薄膜包装生产。

它在各种基底上形成薄而耐用的高质量金属涂层的能力尤其受到重视。

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