说到化学气相沉积（CVD），主要有两种类型：等离子体 CVD 和热 CVD。
这两种方法在引发化学反应的方式和沉积过程所需的温度方面有很大不同。
2 个主要区别说明
1.化学反应引发机制
热化学气相沉积
在热化学气相沉积法中，薄膜沉积所需的化学反应是由热量引发的。
基底和反应气体被加热到非常高的温度，通常在 1000°C 左右。
高温有助于分解反应气体，并将所需材料沉积到基底上。
等离子体 CVD（PECVD）
等离子体 CVD，特别是等离子体增强 CVD (PECVD)，使用等离子体来启动化学反应。
等离子体是通过施加电场产生的，电场可激发反应气体，使其在比热化学气相沉积低得多的温度下发生反应。
这种方法包括电离气体，然后使其发生反应，在基底上形成所需的薄膜。
2.沉积的温度要求
热化学气相沉积
热 CVD 需要非常高的温度，通常在 1000°C 左右。
这些高温是激活化学反应所必需的。
不过，这可能会限制可沉积的材料类型，因为在如此高的温度下，某些基底或材料可能会受损或降解。
等离子体化学气相沉积（PECVD）
PECVD 的工作温度要低得多，通常在 300°C 至 350°C 之间。
这种较低的温度要求对于沉积对高温敏感的材料和不能承受热 CVD 所需的高温的基底非常重要。
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