知识 什么是物理气相沉积工艺?5 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是物理气相沉积工艺?5 大要点解析

物理气相沉积(PVD)是一种用于在材料上生成薄膜的方法。

该工艺是将固态或液态材料转化为蒸汽。

然后,蒸汽凝结在基底上,形成薄膜。

PVD 通常用于制造纯金属、金属合金和陶瓷涂层。

这些涂层的厚度通常在 1 到 10 微米之间。

什么是物理气相沉积工艺?5 个要点说明

什么是物理气相沉积工艺?5 大要点解析

1.从凝结相到气相的转变

物理气相沉积涉及材料从凝结相到气相的转变。

这种转变对于在基底上沉积薄膜至关重要。

2.各种薄膜沉积技术

实现 PVD 的技术有多种。

所有这些技术的共同点都是从源头物理去除原子。

3.溅射沉积

一种常用的技术是溅射沉积。

在这种方法中,原子通过动量交换从固体或液体源释放出来。

4.室内可控气氛

PVD 通常在减压的可控气氛室中进行。

这种环境对于工艺的有效进行至关重要。

5.PVD 过程的步骤

通过溅射进行的 PVD 过程包括三个主要步骤:

  1. 将待沉积材料转化为蒸汽。

  2. 将蒸汽从源头输送到基底的低压区域。

  3. 在基底上冷凝蒸汽,形成薄膜。

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