简而言之，蒸发和溅射都是物理气相沉积（PVD）技术，用于在真空中创建薄膜。根本区别在于它们如何将固体源材料转化为蒸汽。蒸发利用热量使材料沸腾，而溅射则利用高能离子轰击将原子撞击出来。
核心区别在于能量传递。蒸发是一种热过程，就像烧水壶一样，沉积速度更快。溅射是一种动能过程，就像原子级的喷砂机，可以产生更高质量、附着力更好的薄膜。
机制：蒸汽是如何产生的
这两种方法都在高真空环境下操作，以确保汽化的原子能够从源头到达目标基底，同时最大限度地减少空气或其他气体分子的干扰。真正的区别在于驱动这种汽化的“引擎”。
蒸发：热学方法
蒸发依赖于热能。源材料，或称“料块”，在坩埚中通过电阻加热或电子束等方法进行加热。
随着材料加热，其蒸汽压升高，直到开始升华或蒸发，释放出蒸汽流。然后，这些蒸汽穿过真空室，并在较冷的基底上凝结，形成薄膜。
溅射：动能方法
溅射是一种纯粹的动能过程，不依赖于熔化或沸腾。相反，它利用动量传递。
首先，将惰性气体（如氩气）引入腔室并电离以产生等离子体。然后，对源材料（称为“靶材”）施加高电压，导致这些正离子加速并轰击其表面。
这种高能撞击物理地将靶材中的单个原子撞击出来，即“溅射”出来。这些被喷射出的原子具有显著的动能，它们穿过腔室沉积到基底上。
了解权衡
在这两种方法之间进行选择涉及沉积速度和最终薄膜质量之间的直接权衡。两者都没有普遍意义上的“更好”；它们只是适用于不同的目标。
沉积速率和速度
蒸发通常快得多。施加高强度热量可以产生强大而致密的蒸汽流，从而实现高沉积速率和更短的工艺时间。
相比之下，溅射是一个较慢、更谨慎的过程。因为它一次只喷射原子或小团簇，所以总的材料传输速率显著较低。
薄膜附着力和密度
这是溅射的明显优势所在。溅射原子以比蒸发原子高得多的动能到达基底。
这种高能量使它们能够有力地撞击表面，从而形成更致密、更均匀且附着力更强的薄膜。蒸发原子则更轻柔地落在表面，这可能导致薄膜密度较低，与基底的结合力较弱。
材料和工艺控制
溅射提供了更大的多功能性。它可以用于沉积熔点非常高的材料（难熔金属）或复杂的合金和化合物，而不会改变其化学成分。
蒸发则更受限制。它最适用于在可控温度下能干净蒸发的材料。尝试蒸发合金可能很困难，因为蒸汽压较高的元素会首先蒸发，从而改变最终薄膜的成分。
为您的应用做出正确选择
您的选择完全取决于对最终产品而言哪些特性最关键。
- 如果您的主要关注点是用于简单涂层的高速沉积：蒸发通常是最直接且最具成本效益的解决方案。
- 如果您的主要关注点是卓越的薄膜质量、密度和附着力：溅射是更优越的方法，尽管其沉积速率较慢。
- 如果您正在处理复杂的合金、化合物或高温材料：溅射提供了蒸发无法比拟的工艺控制和多功能性。
理解利用热能与动能之间的根本区别是为您的工程目标选择理想PVD工艺的关键。
总结表格：
| 特点 | 蒸发 | 溅射 |
|---|---|---|
| 能量来源 | 热能（热量） | 动能（离子轰击） |
| 沉积速度 | 更快 | 更慢 |
| 薄膜附着力与密度 | 较低 | 较高 |
| 材料多功能性 | 有限（简单材料） | 高（合金、化合物） |
| 最适用于 | 高速、简单涂层 | 卓越质量、复杂材料 |
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