知识 什么是射频和直流溅射?4 大关键区别解析
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 1个月前

什么是射频和直流溅射?4 大关键区别解析

射频溅射是一种用于制造薄膜的技术,主要用于计算机和半导体行业。

它使用射频(RF)能量电离惰性气体。

这将产生正离子,撞击目标材料,使其分解成细小的喷雾,覆盖在基底上。

该工艺与直流溅射在几个关键方面有所不同。

什么是射频和直流溅射?4 个主要区别说明

什么是射频和直流溅射?4 大关键区别解析

1.电压要求

与直流溅射相比,射频溅射需要更高的电压(1,012 伏或更高),直流溅射的工作电压通常在 2,000-5,000 伏之间。

之所以需要较高的电压,是因为射频溅射利用动能从气体原子中去除电子。

相比之下,直流溅射则是通过电子直接轰击离子。

2.系统压力

与直流溅射(100 mTorr)相比,射频溅射的腔室压力较低(低于 15 mTorr)。

较低的压力可减少带电等离子体粒子与目标材料之间的碰撞。

它提高了溅射过程的效率。

3.沉积模式和靶材

射频溅射特别适用于非导电或电介质目标材料。

在直流溅射中,这些材料会积聚电荷并排斥进一步的离子轰击,从而可能导致过程停止。

射频溅射中的交流电有助于中和靶材上的电荷积聚。

这样就可以持续溅射非导电材料。

4.频率和操作

射频溅射使用 1MHz 或更高的频率。

在溅射过程中,必须使用该频率对靶材进行电放电。

它允许有效使用交流电。

在一个半周期内,电子中和靶材表面的正离子。

在另一个半周期中,溅射出的靶原子沉积在基底上。

总之,射频溅射是一种多功能、有效的薄膜沉积方法,尤其适用于非导电材料。

与直流溅射相比,它利用更高的电压、更低的系统压力和交流电来更有效地管理电离和沉积过程。

继续探索,咨询我们的专家

了解射频溅射技术在计算机和半导体行业薄膜生产中的尖端优势!

在 KINTEK SOLUTION,我们引以为豪的是提供创新的溅射系统,优化电压、压力和频率。

即使是最具挑战性的非导电材料,我们也能确保高效一致的沉积。

今天,就利用我们业界领先的射频溅射解决方案提升您的研究和制造流程吧--与 KINTEK SOLUTION 合作,我们将为您提供卓越的性能和精度!

相关产品

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

RF-PECVD 是 "射频等离子体增强化学气相沉积 "的缩写。它能在锗和硅基底上沉积 DLC(类金刚石碳膜)。其波长范围为 3-12um 红外线。

火花等离子烧结炉 SPS 炉

火花等离子烧结炉 SPS 炉

了解火花等离子烧结炉在快速、低温材料制备方面的优势。加热均匀、成本低且环保。

氟化钾 (KF) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

氟化钾 (KF) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以优惠的价格为您的实验室需求提供最优质的氟化钾 (KF) 材料。我们量身定制的纯度、形状和尺寸可满足您的独特要求。查找溅射靶材、涂层材料等。

拉丝模纳米金刚石涂层 HFCVD 设备

拉丝模纳米金刚石涂层 HFCVD 设备

纳米金刚石复合涂层拉丝模以硬质合金(WC-Co)为基体,采用化学气相法(简称 CVD 法)在模具内孔表面涂覆传统金刚石和纳米金刚石复合涂层。

碳化硼 (BC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

碳化硼 (BC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高质量的碳化硼材料。我们可定制不同纯度、形状和尺寸的碳化硼材料,包括溅射靶材、涂层、粉末等。

高纯碳(C)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯碳(C)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在为您的实验室需求寻找经济实惠的碳 (C) 材料吗?别再犹豫了!我们专业生产和定制的材料有各种形状、尺寸和纯度。您可以选择溅射靶材、涂层材料、粉末等。

碳化铪 (HfC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

碳化铪 (HfC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们为满足您独特的实验室需求而定制的高品质碳化铪 (HfC) 材料。我们提供各种尺寸和规格的溅射靶材、涂层材料、粉末等。我们提供合理的价格和优质的服务。立即订购。

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们根据您的独特需求量身定制的价格合理的铜锆合金材料系列。浏览我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品。

高纯度铼(Re)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯度铼(Re)溅射靶材/粉/丝/块/粒

以合理的价格为您的实验室需求找到高品质的铼 (Re) 材料。我们提供纯度、形状和尺寸量身定制的溅射靶材、涂层材料、粉末等。

真空感应熔化炉 电弧熔化炉

真空感应熔化炉 电弧熔化炉

利用我们的真空感应熔炼炉获得精确的合金成分。是航空航天、核能和电子工业的理想之选。立即订购,有效熔炼和铸造金属与合金。

碳化硅 (SiC) 溅射靶材/粉末/线材/块材/颗粒

碳化硅 (SiC) 溅射靶材/粉末/线材/块材/颗粒

正在为您的实验室寻找高质量的碳化硅 (SiC) 材料?别再犹豫了!我们的专家团队以合理的价格根据您的确切需求生产和定制碳化硅材料。立即浏览我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品系列。

硫化锡 (SnS2) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

硫化锡 (SnS2) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室找到高质量的硫化锡 (SnS2) 材料。我们的专家生产和定制材料,以满足您的特定需求。请查看我们的溅射靶材、涂层材料、粉末等产品系列。

高纯硅(Si)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯硅(Si)溅射靶材/粉/丝/块/粒

正在为您的实验室寻找高品质的硅(Si)材料?别再犹豫了!我们定制生产的硅(Si)材料有各种纯度、形状和尺寸,可满足您的独特要求。请浏览我们精选的溅射靶材、粉末、箔等产品。立即订购!

高纯钌(Ru)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯钌(Ru)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们用于实验室的高品质钌材料。我们提供各种形状和尺寸的产品,以满足您的特定需求。查看我们的溅射靶材、粉末、金属丝等产品。立即订购!

高纯铅(Pb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯铅(Pb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在为您的实验室需求寻找高质量的铅(Pb)材料吗?我们有专门的可定制选择,包括溅射靶材、涂层材料等。现在就联系我们,了解具有竞争力的价格!

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高品质的金材料。我们定制的金材料有各种形状、尺寸和纯度,可满足您的独特要求。了解我们的溅射靶材、涂层材料、箔、粉末等产品系列。

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

根据您的独特需求,为您提供经济实惠的实验室用钴(Co)材料。我们的产品范围包括溅射靶材、粉末、箔等。如需定制解决方案,请立即联系我们!

氟化铒 (ErF3) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

氟化铒 (ErF3) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

选购不同纯度、形状和尺寸的实验室用氟化铒 (ErF3) 材料。我们的产品包括溅射靶材、涂层材料、粉末等。立即浏览!

真空感应熔化纺丝系统电弧熔化炉

真空感应熔化纺丝系统电弧熔化炉

使用我们的真空熔融纺丝系统,轻松开发可蜕变材料。非常适合非晶和微晶材料的研究和实验工作。立即订购,获得有效成果。

高纯度铪(Hf)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯度铪(Hf)溅射靶材/粉/丝/块/粒

以合理的价格获得满足您实验室需求的高质量铪 (Hf) 材料。可找到各种形状和尺寸的溅射靶材、涂层材料、粉末等。立即订购。

高纯度铑 (Rh) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铑 (Rh) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以优惠的价格为您的实验室需求提供高质量的铑材料。我们的专家团队可生产和定制各种纯度、形状和尺寸的铑,以满足您的独特需求。我们的产品种类繁多,包括溅射靶材、涂层材料、粉末等。

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

正在寻找用于实验室的高品质铱 (Ir) 材料?别再犹豫了!我们专业生产和定制的材料有各种纯度、形状和尺寸,可满足您的独特需求。请查看我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品系列。立即获取报价!

高纯度铁(Fe)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铁(Fe)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在寻找经济实惠的实验室用铁 (Fe) 材料吗?我们的产品系列包括各种规格和尺寸的溅射靶材、涂层材料、粉末等,可满足您的特定需求。请立即联系我们!

真空悬浮感应熔化炉 电弧熔化炉

真空悬浮感应熔化炉 电弧熔化炉

使用我们的真空悬浮熔炼炉体验精确熔炼。采用先进技术进行有效熔炼,是高熔点金属或合金的理想之选。立即订购,获得高质量的结果。

真空电弧炉 感应熔化炉

真空电弧炉 感应熔化炉

了解真空电弧炉在熔化活性金属和难熔金属方面的强大功能。高速、脱气效果显著、无污染。立即了解更多信息!

真空管热压炉

真空管热压炉

利用真空管式热压炉降低成型压力并缩短烧结时间,适用于高密度、细粒度材料。是难熔金属的理想选择。

非消耗性真空电弧炉 感应熔化炉

非消耗性真空电弧炉 感应熔化炉

了解采用高熔点电极的非消耗性真空电弧炉的优点。体积小、易操作、环保。是难熔金属和碳化物实验室研究的理想之选。

超高温石墨化炉

超高温石墨化炉

超高温石墨化炉利用真空或惰性气体环境中的中频感应加热。感应线圈产生交变磁场,在石墨坩埚中产生涡流,从而加热并向工件辐射热量,使其达到所需的温度。这种炉主要用于碳材料、碳纤维材料和其他复合材料的石墨化和烧结。


留下您的留言