说到生产金刚石薄膜，人们通常会讨论两种主要方法：微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD) 和热丝化学气相沉积 (HFCVD)。
4 个要点说明
1.运行机制
MPCVD 使用微波能产生等离子体。
HFCVD 使用热丝加热气体混合物。
2.金刚石薄膜的纯度
MPCVD 避免了热丝带来的污染风险。
这使得 MPCVD 生产的金刚石薄膜纯度更高，均匀性更好。
HFCVD 容易受到灯丝材料的污染，从而降低金刚石薄膜的纯度。
3.多功能性和控制
MPCVD 允许在反应系统中使用多种气体，增强了其在不同工业应用中的通用性。
MPCVD 以生产均匀性好、纯度高、晶体形态优异的大面积薄膜而著称。
HFCVD 设备简单，易于控制，但金刚石薄膜的生长速度通常较快。
4.成本和质量
MPCVD 提供更可控、更多用途的气体混合物，可生成更优质的金刚石薄膜。
HFCVD 更容易受到污染和灯丝降解的影响，从而影响金刚石薄膜的质量和成本效益。
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