沉积是物质在固体表面形成一层的物理过程。
这一过程会根据预期应用改变基底表面的特性。
沉积可以通过各种方法实现,包括喷涂、旋镀、电镀和真空沉积技术。
沉积层的厚度从单个原子(纳米)到几毫米不等。
什么是沉积的物理过程?4 个关键方面的解释
1.沉积方法
沉积技术包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)和离子束沉积(IBD)。
物理气相沉积是通过物理方式将材料转移到真空中,然后通过加热或溅射将材料转移到基底上。
CVD 使用气体为薄膜生长提供前驱体,通常要求基底温度升高。
ALD 和 IBD 是更专业的方法,涉及原子或离子级精度。
2.薄膜的应用
沉积薄膜有多种应用,如保护涂层、光学涂层、装饰涂层、电操作涂层、生物传感器、等离子设备、薄膜光伏电池和薄膜电池。
每种应用都需要特定的薄膜特性,从而影响沉积方法和参数的选择。
3.影响沉积的因素
关键因素包括沉积速率、均匀性、系统灵活性、步骤覆盖率、薄膜特性、工艺温度、工艺稳健性以及对基底的潜在损害。
每个因素在决定沉积薄膜的质量和是否适合预期用途方面都起着至关重要的作用。
例如,沉积速率会影响薄膜生长的速度和精度,而均匀性则可确保整个基底上的薄膜特性保持一致。
4.化学气相沉积(CVD)
一种特殊的沉积方式,在气相中通过化学反应将固体薄膜沉积在加热的表面上。
这种方法通常包括三个步骤:挥发性化合物的蒸发、蒸气的热分解或化学反应以及非挥发性反应产物在基底上的沉积。
CVD 需要高温高压等特定条件。
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