与传统的热活化方法相比，等离子体能在更低的温度下促进化学反应，因此在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）中发挥着至关重要的作用。以下是对其作用的详细解释：
摘要：
等离子体在 PECVD 中的作用是增强活性物质的化学活性，通过气体分子电离产生高能活性物质，从而在较低温度下沉积薄膜。
-
详细说明：产生高能和活性物种：
-
在 PECVD 中，利用 13.56 MHz 的射频 (RF) 能量产生等离子体，从而点燃并维持两个电极之间的辉光放电。等离子体的形成涉及气体分子的电离，将其转化为一种称为等离子体的高活性状态。电离过程会将气体分子分解成离子、电子和自由基等活性物质。这些物质具有高能量和化学反应性，对于随后导致薄膜沉积的化学反应至关重要。
-
低温沉积：
-
传统的化学气相沉积 (CVD) 依靠热能来激活薄膜沉积所需的化学反应。然而，PECVD 利用等离子体的能量来激活这些反应，其发生的温度要低得多。这对于无法承受高温的基材（如聚合物或某些半导体材料）尤为重要。等离子体的能量可为化学反应提供必要的活化，而无需较高的基底温度。增强化学活性：
-
等离子体环境可增强反应物的化学活性。这种增强可在较低温度下形成各种化合物（如氧化物、氮化物）和复杂结构（如碳化物和碳氮化物）。等离子体生成物的高反应活性使化学反应更加复杂和可控，这对于精确沉积具有所需特性的薄膜至关重要。
对薄膜成分的可调控制：
