热蒸发是一种用于制造薄膜的方法，通过加热一种材料，直至其在高真空环境中蒸发。然后蒸汽在基底上凝结形成薄膜。这种工艺因其简单高效而成为物理气相沉积 (PVD) 的常用技术。
5 个要点说明
1.加热和蒸发
在热蒸发过程中，需要沉积的材料被放置在高真空室内的电阻加热舟中。通过焦耳加热对材料进行加热，即在电阻舟中通入电流。这将使材料达到足以使其蒸发并产生高蒸汽压的高温。
2.运输和沉积
气化的分子从源（加热的材料）到达基底，基底通常位于同一真空室中的特定距离处。真空环境至关重要，因为它能最大限度地减少蒸气与其他气体的相互作用，确保材料干净、定向地沉积到基底上。
3.凝结和薄膜形成
气化材料到达基底后会凝结，形成薄膜。薄膜的厚度和均匀性可以通过调节蒸发速度、蒸发源和基底之间的距离以及蒸发过程的持续时间来控制。
4.应用和优势
热蒸发因其高沉积率和材料利用效率而广泛应用于各行各业。它可用于制造太阳能电池、薄膜晶体管、半导体晶片和碳基有机发光二极管中的金属结合层。该技术还可通过电子束蒸发等先进技术得到增强，电子束蒸发是利用高能电子束蒸发材料，从而获得精度极高的高质量涂层。
5.工艺重复性
该工艺可多次重复，以将薄膜生长到所需厚度，或创建不同材料的共沉积层，从而提高最终产品的功能和性能。
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