热蒸发是一种广泛使用的薄膜沉积物理气相沉积(PVD)技术。
这种方法是在高真空室中使用高温电阻加热,使固体材料蒸发并产生高蒸汽压。
蒸发后的材料覆盖在真空室中的基底表面。
关于薄膜沉积热蒸发的 5 个要点
1.加热源材料
灯丝蒸发: 这种方法使用简单的电加热元件或灯丝将材料加热到其蒸发点。
灯丝对电流的电阻产生必要的热量。
电子束蒸发法: 另一种方法是用电子束对源材料进行加热。
这种方法更为精确,可以处理熔点较高的材料。
2.蒸发过程
材料一旦达到蒸发点,就会从固相转变为气相。
真空室中会保持较高的蒸汽压力,确保蒸汽不会过早凝结。
3.沉积到基底上
气化的材料穿过真空,沉积到基底上。
基底通常保持在较低的温度下,以便蒸汽凝结并形成薄膜。
该过程可以控制,以达到特定的薄膜厚度和特性。
4.应用
热蒸发因其多功能性和有效性被广泛应用于各行各业。
它尤其适用于在太阳能电池、薄膜晶体管、半导体晶片和碳基有机发光二极管中形成金属结合层。
该技术还可用于制造不同材料的共沉积层,从而增强薄膜的功能。
5.热蒸发的优势
该技术可提供相对较高的沉积速率以及实时速率和厚度控制。
它还能提供良好的蒸发流方向控制,这对于像 Lift Off 这样实现直接图案涂层的工艺至关重要。
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