知识 什么是薄膜沉积的热蒸发技术?需要了解的 5 个要点
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 4周前

什么是薄膜沉积的热蒸发技术?需要了解的 5 个要点

热蒸发是一种广泛使用的薄膜沉积物理气相沉积(PVD)技术。

这种方法是在高真空室中使用高温电阻加热,使固体材料蒸发并产生高蒸汽压。

蒸发后的材料覆盖在真空室中的基底表面。

关于薄膜沉积热蒸发的 5 个要点

什么是薄膜沉积的热蒸发技术?需要了解的 5 个要点

1.加热源材料

灯丝蒸发: 这种方法使用简单的电加热元件或灯丝将材料加热到其蒸发点。

灯丝对电流的电阻产生必要的热量。

电子束蒸发法: 另一种方法是用电子束对源材料进行加热。

这种方法更为精确,可以处理熔点较高的材料。

2.蒸发过程

材料一旦达到蒸发点,就会从固相转变为气相。

真空室中会保持较高的蒸汽压力,确保蒸汽不会过早凝结。

3.沉积到基底上

气化的材料穿过真空,沉积到基底上。

基底通常保持在较低的温度下,以便蒸汽凝结并形成薄膜。

该过程可以控制,以达到特定的薄膜厚度和特性。

4.应用

热蒸发因其多功能性和有效性被广泛应用于各行各业。

它尤其适用于在太阳能电池、薄膜晶体管、半导体晶片和碳基有机发光二极管中形成金属结合层。

该技术还可用于制造不同材料的共沉积层,从而增强薄膜的功能。

5.热蒸发的优势

该技术可提供相对较高的沉积速率以及实时速率和厚度控制。

它还能提供良好的蒸发流方向控制,这对于像 Lift Off 这样实现直接图案涂层的工艺至关重要。

继续探索,咨询我们的专家

使用 KINTEK SOLUTION 的先进设备,探索热蒸发的精确性和多功能性。

我们的高性能 PVD 系统可提供无与伦比的薄膜沉积控制和效率,推动电子、半导体和太阳能电池行业的创新。

现在就使用 KINTEK SOLUTION 提升您的研究和生产工艺 - 尖端技术与完美性能的完美结合。

现在就联系我们,了解我们的产品系列,踏上取得行业领先成果的道路!

相关产品

等离子体增强蒸发沉积 PECVD 涂层机

等离子体增强蒸发沉积 PECVD 涂层机

使用 PECVD 涂层设备升级您的涂层工艺。是 LED、功率半导体、MEMS 等领域的理想之选。在低温下沉积高质量的固体薄膜。

电子束蒸发涂层无氧铜坩埚

电子束蒸发涂层无氧铜坩埚

电子束蒸发涂层无氧铜坩埚可实现各种材料的精确共沉积。其可控温度和水冷设计可确保纯净高效的薄膜沉积。

电子束蒸发石墨坩埚

电子束蒸发石墨坩埚

主要用于电力电子领域的一种技术。它是利用电子束技术,通过材料沉积将碳源材料制成的石墨薄膜。

镀铝陶瓷蒸发舟

镀铝陶瓷蒸发舟

用于沉积薄膜的容器;具有铝涂层陶瓷本体,可提高热效率和耐化学性。

有机物蒸发舟

有机物蒸发舟

有机物蒸发舟是在有机材料沉积过程中实现精确均匀加热的重要工具。

石墨蒸发坩埚

石墨蒸发坩埚

用于高温应用的容器,可将材料保持在极高温度下蒸发,从而在基底上沉积薄膜。

电子束蒸发涂层钨坩埚/钼坩埚

电子束蒸发涂层钨坩埚/钼坩埚

钨和钼坩埚具有优异的热性能和机械性能,常用于电子束蒸发工艺。

电子枪光束坩埚

电子枪光束坩埚

在电子枪光束蒸发中,坩埚是一种容器或源支架,用于盛放和蒸发要沉积到基底上的材料。

陶瓷蒸发舟套装

陶瓷蒸发舟套装

它可用于各种金属和合金的气相沉积。大多数金属都能完全蒸发而不损失。蒸发筐可重复使用1。

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

RF-PECVD 是 "射频等离子体增强化学气相沉积 "的缩写。它能在锗和硅基底上沉积 DLC(类金刚石碳膜)。其波长范围为 3-12um 红外线。

有机物质的蒸发坩埚

有机物质的蒸发坩埚

有机物蒸发坩埚,简称蒸发坩埚,是一种在实验室环境中蒸发有机溶剂的容器。

电子束蒸发涂层导电氮化硼坩埚(BN 坩埚)

电子束蒸发涂层导电氮化硼坩埚(BN 坩埚)

用于电子束蒸发涂层的高纯度、光滑的导电氮化硼坩埚,具有高温和热循环性能。

客户定制的多功能 CVD 管式炉 CVD 机器

客户定制的多功能 CVD 管式炉 CVD 机器

KT-CTF16 客户定制多功能炉是您的专属 CVD 炉。可定制滑动、旋转和倾斜功能,用于精确反应。立即订购!

多加热区 CVD 管式炉 CVD 机器

多加热区 CVD 管式炉 CVD 机器

KT-CTF14 多加热区 CVD 炉 - 适用于高级应用的精确温度控制和气体流量。最高温度可达 1200℃,配备 4 通道 MFC 质量流量计和 7" TFT 触摸屏控制器。

高温脱脂和预烧结炉

高温脱脂和预烧结炉

KT-MD 高温脱脂和预烧结炉,适用于各种成型工艺的陶瓷材料。是 MLCC 和 NFC 等电子元件的理想选择。

带液体气化器的滑动 PECVD 管式炉 PECVD 设备

带液体气化器的滑动 PECVD 管式炉 PECVD 设备

KT-PE12 滑动 PECVD 系统:功率范围广、可编程温度控制、滑动系统快速加热/冷却、MFC 质量流量控制和真空泵。

1700℃ 可控气氛炉

1700℃ 可控气氛炉

KT-17A 可控气氛炉:1700℃ 加热、真空密封技术、PID 温度控制和多功能 TFT 智能触摸屏控制器,适用于实验室和工业用途。

1400℃ 可控气氛炉

1400℃ 可控气氛炉

使用 KT-14A 可控气氛炉实现精确热处理。它采用真空密封,配有智能控制器,是实验室和工业应用的理想之选,最高温度可达 1400℃。


留下您的留言