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真空沉积是一种在低压或真空环境中将材料层逐个原子或分子沉积到固体表面的工艺。这种方法在半导体制造、太阳能电池板生产和电子等各行各业中都至关重要。该工艺可采用不同的技术，如物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD），具体取决于气相源和所需应用。
物理气相沉积 (PVD)：
物理气相沉积通常使用电子束或等离子体等高能源，或通过简单加热使固体材料气化。气化后的材料凝结在基底上形成薄膜。这种方法用途广泛，可用于沉积包括金属、合金和陶瓷在内的多种材料。PVD 通常用于制造涂层和表面处理，以及半导体制造。化学气相沉积（CVD）：
CVD 利用化学气相源。在此过程中，化学前体被引入反应器，在反应器中发生化学反应，从而在基底上沉积出薄膜。CVD 以其生产高质量、均匀和保形涂层的能力而著称，这在先进的电子和纳米技术应用中至关重要。
应用和优势：
真空沉积，尤其是 PVD 和 CVD，可用于增强材料的性能，如改善其光学、导电和耐腐蚀性能。多层不同材料的沉积能力允许创建复杂的结构，这对半导体和纳米设备等先进技术的开发至关重要。工艺详情：
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