等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是一种用于沉积各种材料的复杂技术。
PECVD 使用哪些材料？- 5 种关键材料解析
1.碳基材料
PECVD 通常用于沉积金刚石和类金刚石碳 (DLC) 薄膜等形式的碳。
这些材料因其硬度和电气性能而备受推崇。
它们在耐磨涂层和电子设备等应用中至关重要。
2.金属
PECVD 还能沉积各种金属。
该工艺使用含金属的前驱气体，在等离子体中电离形成金属薄膜。
这些薄膜在微电子和光学涂层中至关重要。
3.氧化物
PECVD 广泛用于沉积氧化物薄膜，特别是二氧化硅。
这些薄膜对半导体制造中的绝缘层和钝化层至关重要。
该工艺通常使用硅烷（SiH4）和氧气（O2）或氧化亚氮（N2O）作为前驱气体。
4.氮化物
氮化硅是 PECVD 沉积的另一种常见材料。
氮化硅具有优异的电绝缘性能，并能阻隔湿气和其他污染物。
沉积过程涉及硅烷（SiH4）、氨气（NH3）或氮气（N2）等气体。
5.硼化物
硼化物薄膜虽然不太常见，但也可以使用 PECVD 沉积。
这些材料具有高硬度和热稳定性。
它们适用于耐磨涂层和高温电子产品。
沉积过程
在 PECVD 中，前驱体气体混合物被引入反应器。
13.56 MHz 的射频 (RF) 能量用于产生等离子体。
等离子体中含有气体内部碰撞产生的活性高能物质。
这些活性物质随后扩散到基底表面，在那里吸附并反应形成薄膜。
与传统的 CVD 相比，使用等离子体可使这些反应在更低的温度下发生，这对于保持对温度敏感的基底的完整性至关重要。
前驱体要求
PECVD 所用的前驱体必须易挥发，不会在沉积薄膜中留下杂质，并能提供所需的薄膜特性，如均匀性、电阻和粗糙度。
此外，表面反应产生的所有副产品都必须易挥发，并且在真空条件下易于去除。
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