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CVD（化学气相沉积）法是一种广泛用于合成各种纳米材料，尤其是碳基纳米材料的技术。
富勒烯是具有笼状结构的空心碳分子。
2.碳纳米管（CNTs）
它们具有优异的机械、电气和热性能。
3.碳纳米纤维（CNF）
CNF 与 CNT 相似，但结构更加无序。
它们有多种用途，包括增强复合材料。
生产 CNF 的方法是 CVD。
石墨烯是以二维蜂窝晶格排列的单层碳原子。CVD 可用来在基底上生长大面积的石墨烯薄膜。除碳基纳米材料外，CVD 法还可用于合成其他材料，如碳化物、氮化物、氧氮化物以及硅与 O 和 Ge 的化合物。它可以生产不同微观结构的材料，包括单晶、多晶和非晶形态。聚合物的 CVD 也是一种可靠的工艺，可应用于生物医学设备植入物、电路板和耐用润滑涂层。
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