知识 DLC 的应用温度是多少?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

DLC 的应用温度是多少?需要了解的 5 个要点

在应用类金刚石碳(DLC)涂层时,温度起着至关重要的作用。

DLC 涂层的应用温度通常低于 200°C。

HEF 的特殊沉积技术可以在 170°C 左右的温度下应用 DLC 涂层。

DLC 薄膜可以使用射频等离子体辅助化学气相沉积(RF PECVD)方法沉积。

这种方法可以沉积出具有多种光学和电学特性的碳薄膜。

这种薄膜对许多基底都有良好的附着力,而且可以在相对较低的温度下沉积。

然而,高含量 sp3 碳薄膜(即多晶金刚石)通常是通过高温化学气相沉积(CVD)工艺生产的。

不同形式的类金刚石碳膜(DLC)可以在更低的温度(约 300°C )下沉积,并通过适当的粘合层获得较高的粘合强度。

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)也可用于生产 DLC 涂层。

这些涂层坚硬、抗划伤,并具有良好的阻隔性能。

PECVD 具有温度低、化学性质稳定、有毒副产品少、加工时间快和沉积率高等优点。

总之,DLC 涂层可以在不同的温度下沉积,具体取决于特定的沉积方法和所需的性能。

DLC 的应用温度是多少?需要了解的 5 个要点

DLC 的应用温度是多少?需要了解的 5 个要点

1.典型沉积温度

DLC 涂层通常在低于 200°C 的温度下沉积。

2.HEF 的特定沉积技术

HEF 的技术允许在 170°C 左右的温度下应用 DLC 涂层。

3.射频 PECVD 方法

DLC 薄膜可采用射频等离子体辅助化学气相沉积法(RF PECVD)沉积。

4.低温沉积

这种薄膜对许多基底都有良好的附着力,可在相对较低的温度下沉积。

5.PECVD 的优势

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)具有温度低、化学性质稳定、有毒副产品少、处理时间快和沉积率高等优点。

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