在 CVD(化学气相沉积)石墨烯合成过程中,载气起着至关重要的作用。通常使用氢气和氩气等惰性气体。这些气体对整个过程至关重要。
CVD 石墨烯合成中的 4 种关键气体
1.氢气 (H2)
氢气是一种载气。它能增强表面反应并提高反应速率。这有助于形成石墨烯沉积到基底上所需的活性表面键。氢气还能减少和清除污染物,确保石墨烯更清洁、更高效地生长。
2.惰性气体(如氩气)
氩气主要用于制造惰性气氛。这可以防止不必要的化学反应,并有助于保持沉积环境的纯净度。与氢气一样,氩气也能增强表面反应并提高反应速率,从而促进石墨烯的高效沉积。
载气在 CVD 中的重要性
这些气体在 CVD 过程中至关重要。它们有助于将反应物传输到基底。它们还有助于控制导致石墨烯形成的化学反应。这些气体的选择受其化学惰性和促进所需化学反应而不参与反应的能力的影响。这可以确保石墨烯薄膜的质量和均匀性。
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