知识 下列哪种物质在 PVD 和 CVD 技术中用作催化剂?(4 个要点)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

下列哪种物质在 PVD 和 CVD 技术中用作催化剂?(4 个要点)

说到 PVD(物理气相沉积)和 CVD(化学气相沉积)技术,某些催化剂起着至关重要的作用。

有关 PVD 和 CVD 技术中催化剂的 4 个要点

下列哪种物质在 PVD 和 CVD 技术中用作催化剂?(4 个要点)

1.常用催化剂

这些技术中常用的催化剂有钴、铁、镍及其合金。

2.在碳纳米管生产中的作用

这些催化剂通常用于通过 CVD 方法生产碳纳米管。

3.不同的 CVD 活化路线

在 CVD 中,可以使用多种活化路线,如等离子体炬 CVD、热丝化学气相沉积(HFCVD)和微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)。

4.金刚石薄膜生长

这些方法可用于在各种基底上生长不同质量的金刚石薄膜,具体取决于所需的应用。

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