说到 PVD(物理气相沉积)和 CVD(化学气相沉积)技术,某些催化剂起着至关重要的作用。
有关 PVD 和 CVD 技术中催化剂的 4 个要点
1.常用催化剂
这些技术中常用的催化剂有钴、铁、镍及其合金。
2.在碳纳米管生产中的作用
这些催化剂通常用于通过 CVD 方法生产碳纳米管。
3.不同的 CVD 活化路线
在 CVD 中,可以使用多种活化路线,如等离子体炬 CVD、热丝化学气相沉积(HFCVD)和微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)。
4.金刚石薄膜生长
这些方法可用于在各种基底上生长不同质量的金刚石薄膜,具体取决于所需的应用。
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