蒸发金属是一种在各种科学和工业应用中用于在表面上形成金属薄层的工艺。
主要有两种方法：电子束蒸发和热蒸发。
如何蒸发金属？
1.电子束蒸发
电子束蒸发涉及使用聚焦电子束加热和蒸发金属。
电子的温度通常在 3000 °C 左右。
高压直流电源将这些电子加速射向目标材料。
电子束对准金属表面的特定点，使其迅速加热和蒸发。
这种方法对钨和钽等高熔点金属特别有效。
电子束蒸发对坩埚的污染极小。
2.热蒸发
热蒸发使用金属蒸发器将各种金属蒸发到基底或薄膜上。
金属蒸发器通常由一个坩埚和一个热源组成。
将金属放入坩埚，然后将坩埚加热至高温。
当金属达到熔点时，会变成液体并最终蒸发成蒸汽。
这种蒸气会凝结在炉室内的表面上，给表面镀上一层薄薄的金属。
热蒸发可以使用掩膜，选择性地在样品上镀上特定图案。
铝、金、铬、锗、镍、氧化硅和钛等不同金属都可用于蒸发。
重要注意事项
这两种方法都需要高真空环境，以尽量减少沉积过程中的气体碰撞和不必要的反应。
金属蒸发器应在受控条件下运行。
必须遵守适当的安全规程。
在使用金属蒸发器之前，必须获得合格人员（如物理系的 Knobel 博士）的许可和培训。
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